超纯水设备是一种采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，同时去除水中不离解的胶体物质、气体及有机物至很低程度的水处理设备。这些设备的主要目的是研制超纯材料，其出水质量能达到10兆欧以上的电阻率，优质设备的出水甚至能达到18.25兆欧，满足高纯度的需求。 超纯水设备广泛应用于发电、医药化工、造纸等行业，尤其是随着半导体工业的发展，对超纯水的质量要求更高，推动了纯水技术的进步。膜技术的发展，特别是微滤、超滤、电渗析和反渗透技术的广泛应用。